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概述：

MEMS氣體傳感器利用MEMS工藝再SI基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。

參數(shù)介紹：

回路電壓Vc：≤24V DC?

加熱電壓VH：2.8V±0.1V AC or DC?

負(fù)載電阻RL：可調(diào)?

加熱電阻RH：80Ω±20Ω（室溫）?

加熱功耗PH：≤80mW?

敏感體表面電阻Rs：1KΩ～30KΩ?

靈敏度S：≥2.0?

濃度斜率α：≤0.9?

溫度：20℃±2℃?

濕度：55%RH±5%RH?

標(biāo)準(zhǔn)測試電路：VH:2.8V±0.1V；Vc:5.0V±0.1V